棱鏡耦合儀
高精度膜厚,折射率和光波導測試,不必預先知曉測試膜厚和折射率,可測量雙膜結構中的每一單膜厚度及折射率。測試膜厚范圍:120nm-150um,折射率范圍1-3.35,常規折射率分辨率±0.0005.

光纖光譜儀
便攜式,對5nm到200um范圍內的單層或者多層膜進行快速測試,通過觀測樣品鏡面反射的正弦曲線得到反射和膜厚的光學特性。

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